2019年1月10日,我院邀请台湾清华大学化工系副系主任汪上晓教授作了“大数据,机器学习,智能制造在半导体及化工制造过程的应用”的学术报告。汪教授在本次演讲中介绍了人工智慧,大数据,机器学习,智慧制造的一些基本观念,半导体及化学工厂的制造过程的形态,数据收集架构及智能制造进展的情况。针对半导体制造过程多站点,多机台,多样品特征,介绍一系列如何利用多变数统计方法,建立数据驱动模型,包括统计过程监控,统计品质监控。并且介绍了如何使用一些机器学习的方法,以及如套索收缩与贝叶斯推理等统计原理从海量工业数据中提取有用的信息。通过Tennessee-Eastman(TE)的故障诊断,COSMOSAC sigma profile 的预测等几个学术范例,探索如发挥深度学习演算法的优势。汪教授报告内容贴合时下研究热点,从理论到应用内容丰富,引人入胜。
图1.报告会现场
汪上晓教授,任台湾清华大学化工系副系主任,台湾化工学会会志副总编辑。发表学术论文158篇,引用次数3213,其中他引次数3095,H-index为29。1993年台湾国科会杰出研究奖。2014年清华大学工学院杰出导师奖。1992年在AIChE Journal上发表了著名的“Wong-Sandler混合规则”热力学混合定律,在现代化工领域被广泛采用。